教學實驗室

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雙面對準曝光機

放置位置：R3007 管理者：徐瑞培

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射頻直流濺鍍機

放置位置：R3007 管理者：徐瑞培

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電子束蒸鍍機

放置位置：R3007 管理者：徐瑞培

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原子力顯微鏡

放置位置：R3006 管理者：沈炳臣

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可見光分光光譜儀

放置位置：R3006 管理者：沈炳臣

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都卜勒測振儀與控制器

放置位置：R3006 管理者：沈炳臣

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CNC铣床

放置位置：機械工場 管理者：徐瑞培

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光學觀測模組

放置位置：R3013 管理者：郭良吉

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雙面對準曝光機

放置位置：精密儀器中心 管理者：徐瑞培

光罩圖形轉移之曝光機。