教學實驗室

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雙面對準曝光機

放置位置_en：R3007 管理者_en：徐瑞培

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射頻直流濺鍍機

放置位置_en：R3007 管理者_en：徐瑞培

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電子束蒸鍍機_en

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原子力顯微鏡

放置位置_en：R3006 管理者_en：沈炳臣

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可見光分光光譜儀

放置位置_en：R3006 管理者_en：沈炳臣

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都卜勒測振儀與控制器

放置位置_en：R3006 管理者_en：沈炳臣

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CNC铣床

放置位置_en：機械工場 管理者_en：徐瑞培

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光學觀測模組

放置位置_en：R3013 管理者_en：郭良吉

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雙面對準曝光機_en

放置位置_en：精密儀器中心_en 管理者_en：徐瑞培_en

光罩圖形轉移之曝光機。_en